Klasifikasi
Laboratory Heating Equipments
Kemurnian tinggi tabung kuarsa
50mm DIAMETER
Output RF sistem
0 ~ 500W adjustable 13.56MHz + 0.005%
Kapal penguapan
Kawat Tungsten keranjang opsional meruncing crucible alumina
Termokopel
S termokopel tipe
Empat Saluran mass flowmeter
MFC1: 0 ~ 200sccm MFC2 : 0 ~ 200sccm MFC3: 0 ~ 500sccm MFC4 : 0 ~ 500sccm
Kontrol aliran
Kontrol layar sentuh LCD digital display
Sistem vakum
Molekuler pompa: 600L/S Rotary vane pump: 1.1L/S
Vacuum pengukuran
Senyawa vacuum gauge